1、人員意識培訓

針對無塵室內的清潔人員，先期進行無塵室對產品生產重要性的培訓，貫輸清潔對無塵室的重要度。同時，對清潔人員清潔的方法，技巧進行系統的培訓，掌握清潔的要領。

2、建立清潔方案

無塵車間的清潔方案應包含有清潔項目、清潔方式、清潔頻率及相關計劃。

3、準備好所需的清潔工具及產品

無塵車間所需的清潔工具及產品，一般包括有：潔凈室專用吸塵器、潔凈紙、無塵布、去離子水、酒精、水桶、拖把、拖把專用桶等。

4、正確選用無塵清潔器械

所有無塵室的清潔用品需選用無塵室專用物品，并且建立無塵室清潔用品的選用評估流程，評估標準，評估的標準宜參考清潔的效果及效率。